1.冷冻水、工艺冷却水和冷却塔的用途：

1）冷冻水：用于洁净室环境控制、PCW工艺冷却水、纯水的制备、变电所的散热；

2）工艺冷却水（PCW）：工艺设备（不光芯片制造的设备和一些切、磨、抛的设备和附属设备，基本都是采用PCW工艺冷却水降温）；

3）冷却塔：即一般冷却水，冷却塔里的这些冷却水，主要用于动力设备冷却，如冷冻站、空压机等CUB内大型设备的散热；

冷水机组的作用是通过制冷剂（多见为R134A）这一冷媒循环来与冷冻水、工艺冷却水进行热交换。冷冻水有中温或低温冷冻水，PCW则相当于是CUB冷冻系统的一个分支（实际上是“比较高温的冷冻水”），没有自己的独立系统，工艺冷却水经冷水机组热交换后降低热量。

冷却塔和冷冻水、工艺冷却水相对独立，也可称为“一般冷却水”，也就是上面提到的用于冷冻站、空压机等的大型设备的散热。那么为什么不直接用PCW对冷冻站、空压机等进行散热呢？主要是因为PCW采用电力供能，代价较高，同时工艺设备降温用水水质要求相对亦较高（一般为初级纯水）。而对冷冻站、空压机等进行散热时，水质要求相对较低，利用冷却塔散热，与大气热交换，性价比则尤为凸显。这也是将冷却塔直接位于CUB屋面之上的原因。

（1）冷冻水：温度通常较低，进水温度通常在12℃~18℃左右，出水温度一般在6℃~12℃左右（半导体厂的冷冻水供水温度一般分低温（6℃左右）和中温（12℃左右）两种，用以满足不同的设备需求）；

（2）工艺冷却水：温度相对较高，一般进水温度在35~40℃左右，出水温度30~35℃左右。

（3）冷却塔冷却水：一般进水温度一般在30℃-40℃，出水温度在25℃-32℃。